- 技術(shù)文章
半導體行業(yè)碳化硅長晶爐應用案例
2025-07-26 09:56:34 來源：廈門宇電自動化科技有限公司
宇電AI系列人工智能調(diào)節(jié)器
1、AI-8x9系列
2、AI-MODBUS-TCP1-24VDC
成功應用于國內(nèi)某半導體裝備制造頭部企業(yè)碳化硅長晶爐，該系統(tǒng)溫度的精確控制，儀表兼容多類型輸入/輸出規(guī)格，具備可調(diào)的控制周期及報警功能，通訊兼容RS485及RS232，且可匹配外部TCP模塊實現(xiàn)MODBUS-TCP便捷通訊。
溫度控制效果：
溫度控制效果：溫度波動≤±0.5℃@2200℃，溫度超調(diào)、穩(wěn)定時間等指標均與英國競品水平相當，經(jīng)終端客戶驗證，可完全平替國外競品，成功實現(xiàn)國產(chǎn)替代。
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